产品名称:

主动减震台/隔震台/防震台TS-140+40/LP
主动减震台/隔震台/防震台TS-140+40/LP

产品简介:

型号:TS-140+40/LP

品牌:HERZ

描述:主动隔振频率为 0.7Hz - 200Hz,被动隔振频率>200Hz。干扰仪减震台/轮廓仪防震系统,高精密仪器隔震设备,高分辨率显微镜减震系统,微纳加工精密仪器主动防震设备,超低频减震台,低频隔振,响应时间快!

 

  • 产品概述
  • 主要特点
  • 选型指南

主动减震台/隔震台/防震台TS-140+40/LP


型号:TS-140+40/LP

品牌:HERZ

描述:主动隔振频率为 0.7Hz - 200Hz,被动隔振频率>200Hz。干扰仪减震台/轮廓仪防振系统,高精密仪器隔震设备,高分辨率显微镜减震系统,微纳加工精密仪器主动防震设备,超低频减震台,低频隔振,响应时间快!

用途:主动减振台,主动减震台,主动防震台,超低频防震台、桌面式防震台、桌面式隔震台、桌面式防震台,桌面式隔震台。为各类白光干涉仪主动防震台,光刻机主动防震台,轮廓仪主动隔震台,微纳米结构和加工仪器减震台,半导体设备减震系统,激光设备防震台,电子天平防震台!

主动减震台/隔震台/防震台



 


TS系列主动减震台/隔震台/防震台产品的优势和亮点在于: 

1.六个自由度全方位隔振

2.研究级压电传感技术

3.即插即用系统

4.LCD实时显示(振动水平,重量分布等)

5.主动隔振性能突出

6.集成简便

7.专注科研,无需安装和维护

主动减震台/隔震台/防震台

  

TS系列主动减震台/隔震台/防震台主要应用于: 

1.原子力显微镜

2.扫描探针显微镜

3.干涉测量

4.荧光显微镜

5.摩擦学和纳米压痕测试

6.高精度测量

7.高分辨率显微镜

8.轮廓测量

9.试管受精

此外,TS系列还有多个升级选项可供选择,如: 

工作台集成

(包括架子,监控器支架,键盘托盘等)

隔音箱集成

(如静噪器,AEK-2002及定制隔音设备)

定制面板尺寸及材料

(通常为阻尼铝板,面板可定制不锈钢,铁磁钢,可打孔)

振动器集成(激励源)

远程显示

(重量分布,内部电机调平X/Y/Z轴振动水平,启动/关闭组件,开关隔振台)

远程电源

(免受电磁噪音或热量干扰)

提高负重

TS-140和TS-300负重可提高40kg)

 

技术参数:

型号:TS-140/LP ※可选TS-140+40

型号

TS-140/LP

※可选

TS-140/LP/TP25

系统配置

完全整合

主动隔振范围

频率: 大致为 0.7 ~ 100 Hz (超过100 Hz为被动隔振)

幅度: 20 um (垂直和水平)

高度调节

自动

搬运或运输期间锁定

自动锁定功能

隔振条件

可在前显示屏上观察到。

可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。

安装板尺寸

500 (W) x 600 (D) mm

整体尺寸 (近似)

500 (W) x 600 (D)x 84 (H) mm

负载能力

(同等 /低重心)

140 kg考虑到负载上的偏心重量,请在最大负载能力80% 范围内使用。

系统重量 (近似)

29 kg

输入电压

90 ~ 120 VAC, 200 ~ 240 VAC, 43-60 Hz

功耗

隔振期间最大 10 W。负载调整期间最大 20 W

温度范围

5 ℃ ~ 40 ℃

相对湿度

10 ~ 90 %(5 ~ 30 ℃),10 ~ 60 %(30 ~ 40℃)

服务场所

仅用于室内

工作高度

高达2,000 m

选项1

TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面, 无漆,

M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔有效攻丝深度: 6 mm

选项 2

遥控盒

选项 3

内置减振功能的高刚性框架




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