产品名称:

电镜消磁器/主动消磁/消磁器
电镜消磁器/主动消磁/消磁器

产品简介:

型号:SC-26

品牌:Spicer Consulting

描述:SC26是第四代磁场抵消系统,被优化用于抵消300mm 晶圆厂里晶圆运输工具的高频磁场,通常在9kHz.

  • 产品概述
  • 主要特点
  • 选型指南

名称:电镜消磁器/主动消磁/消磁器


型号:SC-26

品牌:Spicer Consulting

描述:SC26是第四代磁场抵消系统,被优化用于抵消300mm 晶圆厂里晶圆运输工具的高频磁场,通常在9kHz.

电镜消磁器/主动消磁/消磁器


产品介绍:

SC26是第四代磁场抵消系统,被优化用于抵消300mm 晶圆厂里晶圆运输工具的高频磁场,通常在9kHz。

SC26是SC20Fast系统的升级版,该系统在晶圆厂的安 装数量全世界已超过200台。

SC26的工作原理与其他消磁系统类似。消磁方法是产 生一个宽带模拟负反馈。嵌入式微型计算机控制系统并将测量磁场进行数字化处理,但不属于反馈回路。

SC26在电子束设备附件中的参考安装如图4所示。控制 单元未显示。消磁电缆显示为红色、绿色和蓝色。此参考安装用于指定SC26系统性能。200kHz 'Sensor SC26/AC' (图 6)测量磁场,控制单元对测量数据进行滤波处理,并以正确的振幅和相位通过电缆驱动电流,使测量磁场为零。

SC26系统的操作需要“Sensor SC26/AC”。SC26控制单元有两个传感器的输入端。它将与一个或两个传感器工作。当它在两个输入端检测到传感器时,SC26启用混频器功能。

为了消除直流磁场,有必要通过传感器组合单元为每个使用的输入端添加一个“传感器SC24/DC+AC”。然后,SC26将启用直流抵消功能,并在触摸屏上显示直 流磁场。DC消除功能很复杂,但有时是必要的。

SC26无法消除电子束设备附件内的所有磁场。它在磁 场传感器周围创建一个区域,大幅度削减磁场。该区域的大小取决于周围磁场的均匀性、磁场电缆的设计以及电子束设备的金属结构对磁场的扭曲程度。


产品特点:

· 改善外部磁场干扰以达到电子束仪器对磁场规格的要求

· 实时宽带消除从DC到>9kHz的磁场

·  10μs之内适应磁场幅度和频率变化

· 触摸屏智能用户界面,具有自动设定和直流复位功能

· 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择不同单位( TeslaGauss)

· 混合式双传感器,可在EM模块里产生一个虚拟感应器

· 内置测试场发生器

· 具备以太网和USB端口,以供远程操作及监



技术参数:


电镜消磁器/主动消磁/消磁器



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