产品名称:

手动探针台SemiProbe
手动探针台SemiProbe

产品简介:

品牌:SemiProbe

型号:PS4L M-x

描述:SemiProbe 手动探针台是模块化结构设计明显操作灵活的手动探针台。它采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金费用。PS4L 系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,平台,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,这使得 PS4L系列探针台以极低的价格便可满足多种应用需求,为客户提供了完美的解决方案。更重要的是,PS4L可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级以满足新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最经济的费用完成有效的测试。


  • 产品概述
  • 主要特点
  • 选型指南

手动探针台SemiProbe


品牌:SemiProbe

型号:PS4L M-x

描述:SemiProbe 手动探针台是模块化结构设计明显操作灵活的手动探针台。它采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金费用。PS4L 系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,平台,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,这使得 PS4L系列探针台以极低的价格便可满足多种应用需求,为客户提供了完美的解决方案。更重要的是,PS4L可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级以满足新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最经济的费用完成有效的测试。

手动探针台SemiProbe



产品特点:

 

可灵活改变测试尺寸

 

可升级为半自动探针台

 

模块化设计,可以更换关键部件

 

结构简洁,方便操作

 

 

应用范围:

 

光伏工业

 

材料科学

 

光电行业

 

失效分析

 

通信器件测试

 

微机电技术

 

半导体

 

 

技术参数:

 

产品尺寸:1200mm * 650mm * 900mm

 

重量:110Kg

 

输入电压:110/220V 50/60Hz,20A

 

真空:23 Hg or -0.8 bar

 

卡盘X-Y轴轨道:行程:100mm粗调,25mm微调(可定制)

               平面性:±7.5μm

               分辨率:5μm

支架类型:快速对准(标配)、同轴/可编程(选配)

 

卡盘Z轴轨道:行程:10mm

                

θ移动:可转角度:360°粗调,>10°微调

 

卡盘类型:真空或机械夹紧,圆形或方形,三轴,高频,高压/高电流,高低温等

 

压盘:铝和不锈钢顶部,可拆卸前楔

      360度机械手放置

 

压盘位移:可选择固定和线性调节

          线性调节范围:40mm粗调,200um微调

 

可选配件:包括探针卡,操纵器,操纵臂和基座, 探针,激光,光学部件,CCTV 系统,隔振台,暗箱。


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