全自动探针台

品牌：SemiProbe

型号：PS4L FA-x

描述：SemiProbe全自动探针台采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计，提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座，卡盘支架，卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的，使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求，为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是，PS4L可随着测试环境和测试条件的改变进行现场升级以满足新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L 也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最少的费用完成测试。SemiProb的全自动探针系统使用 SemiProbe 的 PILOT 控制软件包进行操作，软件和 PS4L 硬件一样采用的是SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构化设计。PILOT 软件包是一款模块化最明显、最直观且易操作的软件。在不改变核心控制软件的前提上，客户可增添控制模块来增加额外功能和附件。其一般的功能比如2点校准，功能强大且易操作——甚至不经常操作设备的用户也非常容易上手。

产品特点：

同一系统可满足多种应用需求—— DC，高频率，OPTO，MEMS 以及更多

有三种操作模式可选：全自动(不间断工作)、半自动和手动

可处理不同尺寸的晶圆

可测试芯片，晶圆

可处理薄的和弯曲的晶圆或者硅和III-V 族化合物

灵活的 PILOT 控制软件包- 自动晶圆和芯片对准，Z 高度探测和分析，晶圆形貌，界面和更多。

可提供多种配件-热夹盘，光学部件，CCTV 系统，条形码阅读器，OCR，操纵器，探针卡和更多。

模块化结构设计-PS4L 探测系统具有无与伦比的灵活性

应用范围：

光伏工业

材料科学

光电行业

失效分析

通信器件测试

微机电技术

高频/微波测试

半导体技术

技术参数：

产品尺寸：750 mm x 650 mm x 1930 mm

重量：410Kg

输入电压：110/220V 50/60Hz,20A

真空：23 Hg or -0.8 bar

卡盘X-Y轴轨道：NEMA 17步进电机，光学线性编码器

               行程:155*155mm（可升级）

               速度：50mm/s(最大)

               平面性:±8μm

               分辨率:0.1μm

               精度：3μm

               重复性：0.5μm

卡盘Z轴轨道：行程：15mm

             分辨率：0.5μm

             重复性：±1.5μm

θ移动：行程：±4°（可定制）

        分辨率:0.0008°

卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等

压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔

      360度机械手放置

压盘位移：可选择固定和线性调节

          线性调节范围：40mm粗调，200um微调

可选配件：包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。