产品名称:

全自动探针台
全自动探针台

产品简介:

品牌:SemiProbe

型号:PS4L FA-x

描述:SemiProbe全自动探针台采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,卡盘支架,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求,为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是,PS4L可随着测试环境和测试条件的改变进行现场升级以满足新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L 也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最少的费用完成测试。

 



  • 产品概述
  • 主要特点
  • 选型指南

全自动探针台


品牌:SemiProbe

型号:PS4L FA-x

描述:SemiProbe全自动探针台采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座,卡盘支架,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的,使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求,为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是,PS4L可随着测试环境和测试条件的改变进行现场升级以满足新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L 也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最少的费用完成测试。SemiProb的全自动探针系统使用 SemiProbe 的 PILOT 控制软件包进行操作,软件和 PS4L 硬件一样采用的是SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构化设计。PILOT 软件包是一款模块化最明显、最直观且易操作的软件。在不改变核心控制软件的前提上,客户可增添控制模块来增加额外功能和附件。其一般的功能比如2点校准,功能强大且易操作——甚至不经常操作设备的用户也非常容易上手。

全自动探针台



产品特点:

 

同一系统可满足多种应用需求—— DC,高频率,OPTO,MEMS 以及更多

 

有三种操作模式可选:全自动(不间断工作)、半自动和手动

 

可处理不同尺寸的晶圆

 

可测试芯片,晶圆

 

可处理薄的和弯曲的晶圆或者硅和III-V 族化合物

 

灵活的 PILOT 控制软件包- 自动晶圆和芯片对准,Z 高度探测和分析,晶圆形貌,界面和更多。

 

可提供多种配件-热夹盘,光学部件,CCTV 系统,条形码阅读器,OCR,操纵器,探针卡和更多。

 

模块化结构设计-PS4L 探测系统具有无与伦比的灵活性

 

 

应用范围:

 

光伏工业

 

材料科学

 

光电行业

 

失效分析

 

通信器件测试

 

微机电技术

 

高频/微波测试

 

半导体技术

 

 

技术参数:

 

产品尺寸:750 mm x 650 mm x 1930 mm

 

重量:410Kg

 

输入电压:110/220V 50/60Hz,20A

 

真空:23 Hg or -0.8 bar

 

卡盘X-Y轴轨道:NEMA 17步进电机,光学线性编码器

               行程:155*155mm(可升级)

               速度:50mm/s(最大)

               平面性:±8μm

               分辨率:0.1μm

               精度:3μm

               重复性:0.5μm

 

卡盘Z轴轨道:行程:15mm

             分辨率:0.5μm

             重复性:±1.5μm

                

θ移动:行程:±4°(可定制)

        分辨率:0.0008°

 

卡盘类型:真空或机械夹紧,圆形或方形,三轴,高频,高压/高电流,高低温等

 

压盘:铝和不锈钢顶部,可拆卸前楔

      360度机械手放置

 

压盘位移:可选择固定和线性调节

          线性调节范围:40mm粗调,200um微调

 

可选配件:包括探针卡,操纵器,操纵臂和基座, 探针,激光,光学部件,CCTV 系统,隔振台,暗箱。

 

 




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