双侧探针系统
品牌:SemiProbe
型号:DSP
描述:双面探针(DSP)基于SemiProbe的专利探针系统(PS4L)自适应结构设计制造,提供了无与伦比的灵活性和强大功能。DSP解决方案可满足探针从两侧;探针从顶部,检测输出从底部;探针从底部,检测输出从顶部的双侧测试需求。与传统的探针系统不同,该系统所有的基础模块——基座、卡盘支架、卡盘、显微镜支架、显微镜移动、光学元件、操纵器等都是可更换升级的。这使得DSP能为许多不同应用提供完美的解决方案。独特的模块化设计使客户能够获得精确满足其要求的定制系统。更重要的是,随着环境或测试条件的变化,PS4L可以很容易地进行现场升级,以满足新的需求。

产品特点:
可灵活改变测试尺寸
支持双面探针测试
模块化设计,可以更换关键部件
结构简洁,方便操作
应用范围:
光伏工业
材料科学
光电行业
失效分析
通信器件测试
微机电技术
技术参数:
输入电压:110/220V 50/60Hz,20A
真空:23 Hg or -0.8 bar
卡盘X-Y轴轨道:手动(可升级为编程控制)
行程:205*205mm
卡盘Z轴轨道:行程:20mm
θ移动:手动:30°
编程控制:±4°
卡盘类型:可支持晶圆或芯片
压盘材料:铝与镀镍钢
显微镜:立体变焦,晶圆底部数码调焦
放大倍数:100X
可选配件:包括探针卡,操纵器,操纵臂和基座, 探针,激光,光学部件,CCTV 系统,隔振台,暗箱。