双侧探针系统

品牌：SemiProbe

型号：DSP

描述：双面探针(DSP)基于SemiProbe的专利探针系统(PS4L)自适应结构设计制造，提供了无与伦比的灵活性和强大功能。DSP解决方案可满足探针从两侧；探针从顶部，检测输出从底部；探针从底部，检测输出从顶部的双侧测试需求。与传统的探针系统不同，该系统所有的基础模块——基座、卡盘支架、卡盘、显微镜支架、显微镜移动、光学元件、操纵器等都是可更换升级的。这使得DSP能为许多不同应用提供完美的解决方案。独特的模块化设计使客户能够获得精确满足其要求的定制系统。更重要的是，随着环境或测试条件的变化，PS4L可以很容易地进行现场升级，以满足新的需求。

产品特点：

可灵活改变测试尺寸

支持双面探针测试

模块化设计，可以更换关键部件

结构简洁，方便操作

应用范围：

光伏工业

材料科学

光电行业

失效分析

通信器件测试

微机电技术

技术参数：

输入电压：110/220V 50/60Hz,20A

真空：23 Hg or -0.8 bar

卡盘X-Y轴轨道：手动（可升级为编程控制）

               行程:205*205mm

卡盘Z轴轨道：行程：20mm

θ移动：手动：30°

        编程控制:±4°

卡盘类型：可支持晶圆或芯片

压盘材料：铝与镀镍钢

显微镜：立体变焦，晶圆底部数码调焦

        放大倍数：100X

可选配件：包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。