产品名称:

半自动真空探针台
半自动真空探针台

产品简介:

品牌:Semiprobe

型号:SA-xVP

描述:SA-xVP半自动真空探针台可用于芯片、部分晶圆和整个晶圆(200mm以下)的研发至生产中。适用于MEMS、传感器、开关、微测热辐射计或真空封装的任何产品。可根据客户需求进行定制,以满足各种应用和预算。

 


  • 产品概述
  • 主要特点
  • 选型指南

半自动真空探针台


品牌:Semiprobe

型号:SA-xVP

描述:SA-xVP半自动真空探针台可用于芯片、部分晶圆和整个晶圆(200mm以下)的研发至生产中。适用于MEMS、传感器、开关、微测热辐射计或真空封装的任何产品。可根据客户需求进行定制,以满足各种应用和预算。

 

半自动真空探针台


产品特点:

 

高真空:10-5 torr

无与伦比的灵活性:采用 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计

模块化设计:可更换所有关键部件,进行现场升级

软件: PILOT控制软件包

应用:温度、直流、C-V、I-V、高频、光电、MEMS激励和测量

 

 

应用范围:

 

光伏工业

 

材料科学

 

光电行业

 

失效分析

 

通信器件测试

 

微机电技术

 

Probe System for Life (PS4L) :

PS4L探针台采用了SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计,提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金费用。与传统的探针台相比,SemiProbe 的 PS4L 探针台中所有的基础模块-基座,支架,卡盘,显微镜装置,显微镜移动,光学组件,操纵器等都是可以更换的。这使得 PS4L探针台以极低的价格便可满足多种应用需求,为客户提供了完美的解决方案。更重要的是,PS4L可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级以满足新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸,自动化的程度或者测试要求发生改变时,PS4L也无需重新更换新的平台,便可用最短的时效和最经济的费用完成有效的测试。

 

真空系统:

半自动探针系统将在真空环境中测试200mm以下的晶圆或基板。也可以测试单个芯片和破碎/部分晶圆。该系统是使用SemiProbe的PS4L自适应架构构建的。所有关键模块都是可互换的,以提供无与伦比的灵活性。该系统非常适合于研究、实验室或试生产应用。可更换的模块使其易于转换,为各种应用提供测试解决方案-直流、高频、光电、微机电系统、纳米技术等等。

 

该系统易于定制,以满足各种应用和预算。所有模块都是可更换的,可以根据需要添加许多附件。有几种不同类型的真空泵和控制器可满足各种真空度。

半自动真空探针台


 

技术参数:

 

晶圆/基板尺寸:100mm/150mm/200 mm  

晶圆卡盘:可达100mm/150mm/200mm

卡盘支架行程(X,Y):105 mm x 105 mm/155 mm x 155 mm/205 mm x 205 mm

精确度:+/- 3.0μm

分辨率:0.1 μm

重复精度:+/- 0.5 μm

Z轴行程:15mm

Z轴分辨率:0.5μm

Z轴重复精度:+/- 1.5 μm

θ转轴:+/- 4度

电动机:带编码器的直流步进电动机

卡盘支架的真空吸力:10-5 torr

信号和驱动隔板:同轴、三轴或25针D连接器

设备触点:最多8个可编程操纵器(要求选择腔室顶部)

探针卡:圆形或矩形-工业标准4.5“x 12”

腔室顶部:2个标准腔室顶部-探针卡应用的平顶部和可编程操纵器应用的高顶部

热卡盘:尺寸和温度可选。典型:-65oC-300oC

光学元件/显微镜移动:50x50mm(标准)-手动或可编程

光学元件Z轴行程:50mm-100mm - 手动、气动或可编程

光学元件/显微镜:立体变焦、复合变焦、变焦管、AZoom

变焦范围:2x-40x,取决于所选的显微镜

放大倍数:7x-400x,取决于所选的显微镜

精密真空控制:MKS仪器精密真空控制提供100torr - 1mtorr的真空度控制

真空泵系统:双极泵系统,降至10-6 torr

泵类型:旋转叶片、涡旋、涡轮分子或TPS紧凑型(粗加工和涡轮分子)

配件:操纵器、探针臂、探针头、探针卡夹、CCTV系统、激光切割机、

Polytec MSA-500运动分析仪、红外黑体、热卡盘

 

PILOT软件显示:

 

半自动真空探针台




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