产品名称:

电致/光致发光测试系统
电致/光致发光测试系统

产品简介:

品牌:MaxMile

型号:8-inch Desktop/Robot System

描述:MaxMile外延片电致/光致发光技术为LED/LD行业提供了独特的表征解决方案。它可将未加工的发光材料的电致发光性能(EL)和光致发光性能(PL)做一个系统的描述。如EL谱、LIV、输出、斜率量子效率的特性、波长和FWHM位移曲线、和晶圆级均匀性、发射强度、峰值/主波长(WLP/WLD)、FWHM、驱动电压/电流等。MaxMile ELPL测试系统具有优越的性能、通用性和可靠性,并且易于掌握和操作。它们以新的能力和更好的效率促进光电研发和产业的发展。


  • 产品概述
  • 主要特点
  • 选型指南

电致/光致发光测试系统


品牌:MaxMile

型号:8-inch Desktop/Robot System

描述:MaxMile外延片电致/光致发光技术为LED/LD行业提供了独特的表征解决方案。它可将未加工的发光材料的电致发光性能(EL)和光致发光性能(PL)做一个系统的描述。如EL谱、LIV、输出、斜率量子效率的特性、波长和FWHM位移曲线、和晶圆级均匀性、发射强度、峰值/主波长(WLP/WLD)、FWHM、驱动电压/电流等。MaxMile ELPL测试系统具有优越的性能、通用性和可靠性,并且易于掌握和操作。它们以新的能力和更好的效率促进光电研发和产业的发展。

电致/光致发光测试系统电致/光致发光测试系统




产品特点:

可同时兼容电致和光致发光测试

 

无损检测,可快速测试

 

图形系统控制

 

直观的系统软件

 

一键式操作

 

无需样品制备,高生产率

 

可升级自动测试系统

 

自动化wafer-size识别

 

高度定制的系统配置

 

不同的多功能探针测试需求

 

可根据不同的测试需求选择探针

 

可升级为半自动和自动款

 

易于掌握和操作

 

 

应用范围:

LED/LD外延片性能测量

 

无损快速EL和wafer-level EL映射

 

材料科学研究

 

无晶圆厂材料和系统开发

 

为配方修改提供即时响应

 

半导体制造流程与系统优化

 

为配方修改、工艺和系统优化提供即时响应

 

为材料生长提供设备级的质量控制

 

进行高效率晶圆评估,筛选以及设备分选

 

 

技术参数:

外延片尺寸:2-8’’(最高可定制12’’)

 

光谱检测范围:200-800nm

 

光谱分辨率:0.5-2nm(取决于光谱范围)

 

 

测试项目:

电致发光Mapping :


波长—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波长,半高宽度。

发光强度—辐射/发光功率,量子转换效率。

电流—正向电流/电压,导通电压,反向漏电流/电压,阈值电压,导通电阻,顶部电阻 正向漏电流,串接电阻,理想因子等。

 

光致发光Mapping :

 

波长—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波长,半高宽度。

发光强度—辐射/发光功率,量子转换效率。

 

IV特性Mapping :

 

正向电流/电压,反向漏电流/电压,阈值电压,导通电阻等

 

其他特性Mapping :

 

翘曲度

薄膜厚度

 

*(对于上述所有测试项目,无论mapping还是快速测试均可做布局图)

 

 

测试曲线类型:

 

特定驱动电流/电压的电致发光光谱

 

光致发光谱

 

LIV—电流/发光强度—电压

 

输出强度—驱动电流

 

波长&半高宽—驱动电流

 

反向IV

 

激发源: 

 

EL: Keithley数字电源

 

PL:405nm光源(其他波长可定制)

 

探针类型:Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si

 

电流测试:>10-12A

 

采样点/采样步骤:

 

电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由最终用户设置。

光致发光采样点可以由最终用户根据需求设置(高分辨率模式应用于高标准的应用,快速扫描模式可用批量生产)

 

测试时间:约0.5-12分钟/外延片(取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置。光致发光选项扫描速度是每秒最多达50点。)

 

Mapping颜色编码: 彩虹色,渐变色,二元色,温度,灰色,或任何由最终用户指定的颜色类型。

 

输入电压:15A/110VAC 或是10A/220VAC(最大电压);

 

环境条件:温度: 15 - 30℃

 

相对湿度:30% -70%无凝结。

 

自动测试系统需要真空

 

测试报告展示:


电致/光致发光测试系统

电致/光致发光测试系统

 




  • 微信咨询

  • 电话咨询

    电话+86-020-85666701
  • 微信咨询

    长按,识别二维码
点击电话进行一键拨打