电致/光致发光测试系统
品牌:MaxMile
型号:8-inch Desktop/Robot System
描述:MaxMile外延片电致/光致发光技术为LED/LD行业提供了独特的表征解决方案。它可将未加工的发光材料的电致发光性能(EL)和光致发光性能(PL)做一个系统的描述。如EL谱、LIV、输出、斜率量子效率的特性、波长和FWHM位移曲线、和晶圆级均匀性、发射强度、峰值/主波长(WLP/WLD)、FWHM、驱动电压/电流等。MaxMile ELPL测试系统具有优越的性能、通用性和可靠性,并且易于掌握和操作。它们以新的能力和更好的效率促进光电研发和产业的发展。


产品特点:
可同时兼容电致和光致发光测试
无损检测,可快速测试
图形系统控制
直观的系统软件
一键式操作
无需样品制备,高生产率
可升级自动测试系统
自动化wafer-size识别
高度定制的系统配置
不同的多功能探针测试需求
可根据不同的测试需求选择探针
可升级为半自动和自动款
易于掌握和操作
应用范围:
LED/LD外延片性能测量
无损快速EL和wafer-level EL映射
材料科学研究
无晶圆厂材料和系统开发
为配方修改提供即时响应
半导体制造流程与系统优化
为配方修改、工艺和系统优化提供即时响应
为材料生长提供设备级的质量控制
进行高效率晶圆评估,筛选以及设备分选
技术参数:
外延片尺寸:2-8’’(最高可定制12’’)
光谱检测范围:200-800nm
光谱分辨率:0.5-2nm(取决于光谱范围)
测试项目:
电致发光Mapping :
波长—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波长,半高宽度。
发光强度—辐射/发光功率,量子转换效率。
电流—正向电流/电压,导通电压,反向漏电流/电压,阈值电压,导通电阻,顶部电阻 正向漏电流,串接电阻,理想因子等。
光致发光Mapping :
波长—WLP/WLD/WLC (峰值/主/中心)波长,半高宽度。
发光强度—辐射/发光功率,量子转换效率。
IV特性Mapping :
正向电流/电压,反向漏电流/电压,阈值电压,导通电阻等
其他特性Mapping :
翘曲度
薄膜厚度
*(对于上述所有测试项目,无论mapping还是快速测试均可做布局图)
测试曲线类型:
特定驱动电流/电压的电致发光光谱
光致发光谱
LIV—电流/发光强度—电压
输出强度—驱动电流
波长&半高宽—驱动电流
反向IV
激发源:
EL: Keithley数字电源
PL:405nm光源(其他波长可定制)
探针类型:Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si
电流测试:>10-12A
采样点/采样步骤:
电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由最终用户设置。
光致发光采样点可以由最终用户根据需求设置(高分辨率模式应用于高标准的应用,快速扫描模式可用批量生产)
测试时间:约0.5-12分钟/外延片(取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置。光致发光选项扫描速度是每秒最多达50点。)
Mapping颜色编码: 彩虹色,渐变色,二元色,温度,灰色,或任何由最终用户指定的颜色类型。
输入电压:15A/110VAC 或是10A/220VAC(最大电压);
环境条件:温度: 15 - 30℃
相对湿度:30% -70%无凝结。
自动测试系统需要真空
测试报告展示:

