电致/光致发光测试系统

品牌：MaxMile

型号：8-inch Desktop/Robot System

描述：MaxMile外延片电致/光致发光技术为LED/LD行业提供了独特的表征解决方案。它可将未加工的发光材料的电致发光性能(EL)和光致发光性能（PL）做一个系统的描述。如EL谱、LIV、输出、斜率量子效率的特性、波长和FWHM位移曲线、和晶圆级均匀性、发射强度、峰值/主波长(WLP/WLD)、FWHM、驱动电压/电流等。MaxMile ELPL测试系统具有优越的性能、通用性和可靠性，并且易于掌握和操作。它们以新的能力和更好的效率促进光电研发和产业的发展。

产品特点：

可同时兼容电致和光致发光测试

无损检测，可快速测试

图形系统控制

直观的系统软件

一键式操作

无需样品制备，高生产率

可升级自动测试系统

自动化wafer-size识别

高度定制的系统配置

不同的多功能探针测试需求

可根据不同的测试需求选择探针

可升级为半自动和自动款

易于掌握和操作

应用范围：

LED/LD外延片性能测量

无损快速EL和wafer-level EL映射

材料科学研究

无晶圆厂材料和系统开发

为配方修改提供即时响应

半导体制造流程与系统优化

为配方修改、工艺和系统优化提供即时响应

为材料生长提供设备级的质量控制

进行高效率晶圆评估，筛选以及设备分选

技术参数：

外延片尺寸：2-8’’（最高可定制12’’）

光谱检测范围：200-800nm

光谱分辨率：0.5-2nm（取决于光谱范围）

测试项目:

电致发光Mapping ：

波长—WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波长，半高宽度。

发光强度—辐射/发光功率，量子转换效率。

电流—正向电流/电压，导通电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻，顶部电阻 正向漏电流，串接电阻，理想因子等。

光致发光Mapping ：

波长—WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波长，半高宽度。

发光强度—辐射/发光功率，量子转换效率。

IV特性Mapping ：

正向电流/电压，反向漏电流/电压，阈值电压，导通电阻等

其他特性Mapping ：

翘曲度

薄膜厚度

*（对于上述所有测试项目，无论mapping还是快速测试均可做布局图）

测试曲线类型：

特定驱动电流/电压的电致发光光谱

光致发光谱

LIV—电流/发光强度—电压

输出强度—驱动电流

波长&半高宽—驱动电流

反向IV

激发源： 

EL: Keithley数字电源

PL:405nm光源（其他波长可定制）

探针类型：Type I, Type IA, Type II, Type IIA, Type IIB, Type IIC, and GaN-on-Si

电流测试：>10-12A

采样点/采样步骤：

电致发光采样点和每个点的光/电测量步骤都可由最终用户设置。

光致发光采样点可以由最终用户根据需求设置（高分辨率模式应用于高标准的应用，快速扫描模式可用批量生产）

测试时间：约0.5-12分钟/外延片（取决于测试类型、采样点、检测协议和测量步距设置。光致发光选项扫描速度是每秒最多达50点。）

Mapping颜色编码: 彩虹色，渐变色，二元色，温度，灰色，或任何由最终用户指定的颜色类型。

输入电压：15A/110VAC 或是10A/220VAC（最大电压）;

环境条件：温度： 15 - 30℃

相对湿度：30％ -70％无凝结。

自动测试系统需要真空

测试报告展示：