产品名称:

膜厚仪Otsuka
膜厚仪Otsuka

产品简介:

型号:OPTM

品牌:Otsuka

描述:Otsuka OPTM是一套快速、准确的显微分光膜厚测量仪,通过测量显微区域的绝对光谱反射率,能够非常精确地分析薄膜厚度和光学常数,非破坏性和非接触式厚度测量可以在多层膜和各种涂层上进行,包括薄膜、晶圆片和光学材料等,测量速度可达1秒/点。


  • 产品概述
  • 主要特点
  • 选型指南

膜厚仪Otsuka


型号:OPTM

品牌:Otsuka

描述:Otsuka OPTM是一套快速、准确的显微分光膜厚测量仪,通过测量显微区域的绝对光谱反射率,能够非常精确地分析薄膜厚度和光学常数,非破坏性和非接触式厚度测量可以在多层膜和各种涂层上进行,包括薄膜、晶圆片和光学材料等,测量速度可达1秒/点。

膜厚仪Otsuka


产品亮点: 

快速测量<1s/point

波长范围覆盖广

通过区域传感器控制,安全可靠

对样品友好,非接触和非破坏性测试

软件界面友好,易操作

可根据具体需求定制


应用范围: 

测量各类薄膜的绝对反射率、膜厚解析、光学常数解析等

升级选项: 

光谱仪规格可选(OP-A1/OP-A2/OP-A3)

根据具体测试需求,接受定制


技术参数:

测量参数

光谱范围:230~800nm/360~1100nm/900~1600nm

膜厚范围:1nm~35μm/7nm~49μm/16nm~92μm

样品尺寸:Max. 200 x 200 x 17 mm

点径:φ5μm(反射40倍镜头),改造后可达3μm

测量时间:1秒/点

尺寸:本体(W555xD537xH559mm),控制单元(W500xD180xH288mm)

功耗:750VA


测量案例:

膜厚仪Otsuka






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