膜厚仪Otsuka
型号:OPTM
品牌:Otsuka
描述:Otsuka OPTM是一套快速、准确的显微分光膜厚测量仪,通过测量显微区域的绝对光谱反射率,能够非常精确地分析薄膜厚度和光学常数,非破坏性和非接触式厚度测量可以在多层膜和各种涂层上进行,包括薄膜、晶圆片和光学材料等,测量速度可达1秒/点。

产品亮点:
快速测量<1s/point
波长范围覆盖广
通过区域传感器控制,安全可靠
对样品友好,非接触和非破坏性测试
软件界面友好,易操作
可根据具体需求定制
应用范围:
测量各类薄膜的绝对反射率、膜厚解析、光学常数解析等
升级选项:
光谱仪规格可选(OP-A1/OP-A2/OP-A3)
根据具体测试需求,接受定制
技术参数:
测量参数
光谱范围:230~800nm/360~1100nm/900~1600nm
膜厚范围:1nm~35μm/7nm~49μm/16nm~92μm
样品尺寸:Max. 200 x 200 x 17 mm
点径:φ5μm(反射40倍镜头),改造后可达3μm
测量时间:1秒/点
尺寸:本体(W555xD537xH559mm),控制单元(W500xD180xH288mm)
功耗:750VA
测量案例:
