膜厚仪Otsuka

型号：OPTM

品牌：Otsuka

描述：Otsuka OPTM是一套快速、准确的显微分光膜厚测量仪，通过测量显微区域的绝对光谱反射率，能够非常精确地分析薄膜厚度和光学常数，非破坏性和非接触式厚度测量可以在多层膜和各种涂层上进行，包括薄膜、晶圆片和光学材料等，测量速度可达1秒/点。

产品亮点： 

快速测量＜1s/point

波长范围覆盖广

通过区域传感器控制，安全可靠

对样品友好，非接触和非破坏性测试

软件界面友好，易操作

可根据具体需求定制

应用范围： 

测量各类薄膜的绝对反射率、膜厚解析、光学常数解析等

升级选项： 

光谱仪规格可选（OP-A1/OP-A2/OP-A3）

根据具体测试需求，接受定制

技术参数：

测量参数

光谱范围：230~800nm/360~1100nm/900~1600nm

膜厚范围：1nm~35μm/7nm~49μm/16nm~92μm

样品尺寸：Max. 200 x 200 x 17 mm

点径：φ5μm（反射40倍镜头），改造后可达3μm

测量时间：1秒/点

尺寸：本体（W555xD537xH559mm），控制单元（W500xD180xH288mm）

功耗：750VA

测量案例：