产品名称:

主动防振台/防振台/主动防震台AVI-400XL
主动防振台/防振台/主动防震台AVI-400XL

产品简介:

品牌:HERZ

型号:AVI-400XL

用途:为各类透射式电子显微镜(TEM)主动防震台、扫描式电子显微镜(SEM)主动防振台、发射式电子显微镜主动防振台、探针显微镜主动防振台、扫描隧道显微镜防震台、原子力显微镜(AFM)防振台、横向力显微镜防振台。



  • 产品概述
  • 主要特点
  • 选型指南

主动防振台/防振台/主动防震台AVI-400XL


品牌:HERZ

型号:AVI-400XL

用途:为各类透射式电子显微镜(TEM)主动防震台、扫描式电子显微镜(SEM)主动防振台、发射式电子显微镜主动防振台、探针显微镜主动防振台、扫描隧道显微镜防震台、原子力显微镜(AFM)防振台、横向力显微镜防振台。

描述:AVI-400XL为六轴方向自由度防振台,高负载主动防振台。系统内部反馈回路抑制所有机械共振,低频隔振性能优秀 ,无低频共振、无空气要求!自动调节负载 ,即插即用 ,LCD显示屏实时显示振动情况,多种面板定制选择,AVI-400XL主动防振台主要应用体积大中心高精密光学设备,还可称为防震台,防振台,主动防振台,主动防震台,防震模块,防振模块,防震系统,主动防振系统,主动防震平台,防振系统,防振平台,防震平台,防震光学平台防振光学平台,光刻机防振台,半导体检测防震台等。

主动防振台/防振台/主动防震台AVI-400XL



产品亮点: 

六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)

5-20ms响应时间                                                                   

低频隔振性能优异,安装和使用简单

系统主动检测输入振动并动态消除

紧凑、模块化的多功能设计

稳定性高,能无故障连续使用多年

无低频共振、无空气要求


应用范围:

超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)

光刻工具

高精度计量工具

光谱仪器

升级选项:

可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。


技术参数:

型号:AVI-400XL/LP

系统配置:独立隔振装置 & 控制装置

主动隔振范围:大致为1.0 Hz - 200 Hz

被动隔振范围:大致为200 Hz以上

显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。

LEDs 指示输出阶段的过载情况。

单元尺寸(每个):230 x 856 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

隔振单元重量: 24kg

负载能力:800 kg (同等/低重心)

输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗:通常18W

温度范围:5℃ - 40℃

相对湿度:10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室内/室外使用:仅用于室内


隔振效果:

性能对比图:SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像: 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时,所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动防振台/防振台/主动防震台AVI-400XL




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